1. 極限壓強(qiáng):優(yōu)于5×10-4Pa;
2.抽速:大氣到5×10-3Pa抽氣時(shí)間小于25分鐘
3.升壓率:≦0.4Pa/hr 可以實(shí)現(xiàn)高功率磁控濺射功能 工藝過程自動控制和手動控制結(jié)合。
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3.升壓率:≦0.4Pa/hr 可以實(shí)現(xiàn)高功率磁控濺射功能 工藝過程自動控制和手動控制結(jié)合。
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2023-05-05