高功率脈沖磁控濺射(HiPIMS)放電憑著高離化率優(yōu)點,早已變成物理學(xué)液相沉積(PVD)行業(yè)的關(guān)鍵技術(shù)。由于HiPIMS放電具備繁雜的物理學(xué)場配備和萬千瓦級的最高值輸出功率,其造成的不勻稱等離子體比較嚴(yán)重危害著塑料薄膜的特性。
從HiPIMS放電等離子體的時間和空間特性視角考慮,融合放電靶電流量、等離子體特性阻抗、正離子飽和電流的特性,及其各種各樣顆粒在不一樣時刻和室內(nèi)空間結(jié)構(gòu)域相匹配的相互影響和軌跡,具體描述了近些年國際性上有關(guān)HiPIMS脈沖放電全過程中等離子體主要參數(shù)的時光演化特性及其脈沖等離子體動力學(xué)模型個人行為,關(guān)鍵包括了等離子體標(biāo)量的時間演化規(guī)律性,繁雜物理學(xué)場的空間布局個人行為,顆粒相對密度、動能的蔓延傳送體制,濺射靶材顆粒離化水平的表現(xiàn)方式等,并全方位地描述了汽體分子稀釋液效用、汽體循環(huán)系統(tǒng)、雙極蔓延、等離子體波、轉(zhuǎn)動的spoke等不穩(wěn)定傳送特性。
除此之外,根據(jù)等離子體時光特性,匯總出HiPIMS放電沉積速度低的誘因,詳細(xì)介紹了提升 沉積速度的方式 和原理。最終,強調(diào)了現(xiàn)階段有關(guān)HiPIMS時光特性科學(xué)研究層面存在的不足和發(fā)展前景。
